化学机械抛光已成为公认的纳米级精密超精密加工技术。它是一个动态的微细加工过程，在该过程中，化学抛光液中的组成成分与...

抛光粉种类有稀土抛光粉、金刚石抛光粉（包括多晶金刚石微粉、单晶金刚石微粉、纳米金刚石微粉）、氧化铝系列微粉、氧化铈...

依据机械加工原理、半导体材料工程学、物力化学多相反应多相催化理论、表面工程学、半导体化学基础理论等，对硅单晶片化学...

抛光皮黑皮是采用精密的技术将聚氨脂和纤维织物合成的抛光材料，在抛光过程中具有弹性好，力道柔和，无划伤，无塌边的特点...

制备高浓度的氧化铈抛光液想要优异的抛光效果，必须要氧化铈粉在抛光液体系中，具备非常好的悬浮性、分散性，否则如果分散...